晶芯半导体再生晶圆填补国产空白

企业的技术创新实力如何体现？晶芯半导体（黄石）有限公司（以下简称“晶芯半导体”）给出的答案是：奋力攻关，填补再生晶圆国产空白。

26日，在晶芯半导体无尘车间，工作人员操作设备对研磨后的晶圆进行抛光处理。“晶圆厂需要大量的陪片，在使用过程中，这些片子会产生损伤。我们将受损硅片清洗抛光，重新生成12英寸的硅片，既环保又节省资源。”晶芯半导体主要负责人陶盛介绍说。

作为国内首家晶圆再生工厂，晶芯半导体主要对12英寸晶圆制造使用的测试片表面进行处理，实现回收再生、循环利用，填补再生晶圆国产空白。

该企业的核心产品——12英寸再生晶圆，主要针对芯片制造中使用过的控片、挡片（测试片）提供专业化回收再生服务。通过原子级抛光等核心工艺，可精准去除晶圆表面蚀刻的电路图、金属等附着物，经清洗、抛光、检测等全流程处理后，重新生成符合行业标准的12英寸硅片。

“我们的产品实现了进口替代，让企业无需将受损晶圆送往境外处理，将原本2个月的处理周期大幅缩短，还降低了企业20%以上的相关成本。”陶盛说，像中芯国际这样的集成电路企业，借助其再生晶圆产品，每年可节省数亿元。

由于实现了工艺自主可控，晶芯半导体再生晶圆对保障本土供应链安全、降低国内半导体产业对外依存度、提升我国集成电路产业整体竞争力具有重要战略意义。目前，该企业产品已直供武汉新芯等企业，服务客户囊括国内80%以上已投产晶圆厂。（融媒记者　陈双）

编辑 吉星